-
Zusatztext
-
Mit Hilfe der Ellipsometrie mißt man Dicken und optische Eigenschaften dünner Filme. In den vergangenen Jahren hat die ellipsometrische Spektroskopie ebenso wie die eng verwandte Reflektometrie zunehmend die Industrielabors erobert. Dies schafft Bedarf an einer praxisnahen Einführung für ein interdisziplinäres Publikum von Materialwissenschaftlern, Physikern, Chemikern und Elektrotechnikern, wie sie mit diesem Buch gelungen ist. (04/99)
-
Detailansicht
Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry
A User's Guide
ISBN/EAN: 9780471181729
Umbreit-Nr.: 6409453
Sprache:
Englisch
Umfang: XVIII, 230 S.
Format in cm:
Einband:
gebundenes Buch
Erschienen am 06.04.1999
Auflage: 1/1999